연구·실험장비
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초고주파 플라즈마 식각장비 (Microwave Plasma Asher)
서울특별시 성북구 화랑로14길 5 한국과학기술연구원
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초고주파 플라즈마 식각장비 (Microwave Plasma Asher)
서울특별시 성북구 화랑로14길 5 한국과학기술연구원